email:biuro@optotom.pl | tel: +48 664 057 948 

STRONA W TRAKCIE MODERNICAZJI. PRZEPRASZAMY ZA UTRUDNIENIA

Facebook

Tu zaczyna się jakość - urządzenia dla Twojego laboratorium

NEXIV VMZ-K6555 - Przełomowy wielofunkcyjny konfokalny system pomiaru wideo

nikon metrology vision systems VMZ K6555

Nikon Confocal NEXIV VMZ-K6555 został opracowany w oparciu o najlepsze technologie opto-mechatroniczne (optyczne, mechaniczne i elektroniczne) firmy Nikon. Zawiera różnorodne elementy dedykowanej optyki konfokalne do szybkiej i dokładnej oceny precyzyjnej trójwymiarowej metrologii powierzchni, technologii przetwarzania obrazu i laserowego autofokusa TT L. Umożliwia pomiary 2D i wysokości w tym samym polu widzenia. Urządzenie Confocal NEXIV VMZ-K6555 służy do kontroli i pomiaru krytycznych wymiarów bardzo złożonych struktur w zaawansowanych urządzeniach półprzewodnikowych, kartach sond, wzorcach podłoża na płytkach drukowanych, MEMS i wielu innych wymagających zastosowaniach.

Kluczowe korzyści

  • Jednoczesny pomiar wysokości na dużym obszarze za pomocą opatentowanej optyki konfokalnej firmy Nikon
  • Pomiar 2D z 15-krotnym zoomem optycznym w jasnym polu
  • W pełni kompatybilny z pomiarem płytek 300 mm w fabrykach półprzewodników
  • Obsługuje rozmiary płytek drukowanych dzięki skokowi 650 x 550 mm

Aplikacje

  • Pakiety IC: Flip Chip / COF (Bump) / COG, CSP (FBGA) / SIP (Bump, Wire), Interposer (Pad height)
  • MEMS
  • Karta sondy (sonda silikonowa, sonda Au)
  • Precyzyjne elementy szklane (mikrosoczewki, soczewki kontaktowe)
  • Szerokość / wysokość odstępu fotograficznego dla filtra koloru dla panelu FPD

Zalety i funkcje

Przykłady pomiarów

nikon metrology vision systems bright field VMZ K6555Jasne Pole nikon metrology vision systems confocal image VMZ K6555Obraz Konfokalny nikon metrology vision systems 3d cf image VMZ K6555Obraz 3D CF 

nikon metrology vision systems edf image VMZ K6555EDF  nikon metrology vision systems csp bump height and size VMZ K6555CSP-Bump Wysokość i rozmiarnikon metrology vision systems bonding wire loop height VMZ K6555Wysokość wiązania pętli 

Soczewki konfokalne

Soczewki konfokalne typu S: 1,5x – W.D. 35 mm, 3x – W.D. 24 mm, 7,5x – W.D. 5 mm Soczewki konfokalne typu H: 15x – W.D. 20 mm, 30x – W.D. 5 mm

Specyfikacje

 
Objective lens
Magnification3x7.5x15x30x
W.D.24mm5mm20mm5mm
Confocal optics (area height measure)
Field of view4 x 3mm1.6 x 1.2mm0.8 x 0.6mm0.4 x 0.3mm
Height measurement repeatability (2σ)0.35µm0.25µm0.25µm0.20µm
Height measurement resolution0.01µm   
Brightfield optics (2D measurement)
Zooming methodMotorized 5-step zoom
Field of view4 x 3mm to 0.27 x 0.2mm1.6 x 1.2mm to 0.11 x 0.08mm1.26 x 0.95mm to 0.1 x 0.074mm0.63 x 0.47mm to 0.05 x 0.04mm
IlluminationWhite LED diascopic and episcopic illuminator for all types, White LED ring light for type 3x and 7.5x
Auto focusVision AF and TTL laser AF (Scan Mode available)
Main body
Stroke (X, Y, Z)300 x 400 x 150mm
Guaranteed loading capacity30kg
Maximum permissible error MPEE1X1.5 + 2.5L/1000µm
Maximum permissible error MPEE1Y2.5 + 2.5L/1000µm
Maximum permissible error of Z axis MPEE1Z1 + L/1000µm
Main unit weight830kg
Power source/power consumptionAC 100 to 240 V ± 10% 50/60 Hz / 13A to 6.5A
Operating conditionTemperature: 20°C ± 0.5K, Humidity: 70% or less
Acquired standardCE marking (low voltage/EMC/laser)
Footprint2500 x 1900mm

Adres główny:
ul. Głębocka 54c/30
03-287 Warszawa
e-mail:biuro@optotom.pl
tel: +48 664 057 948

Facebook

Zachęcamy do zapoznania się z naszymi najnowszymi informacjami