VMZ – S3020 – OPTOTOM VMZ - S3020 • OPTOTOM

Wysoka dokładność, duża prędkość, wysoka użyteczność pomiaru na poziomie mikro.

Osiągnięcie maksimum możliwości pomiarów wideo w kompaktowym systemie Doskonała optyka firmy Nikon zapewnia wysoką dokładność i powtarzalność w całym polu widzenia, zwiększając szybkość pomiaru. VMZ-S3020 oferuje skok 300 x 200 x 200 (X x Y x Z) mm odpowiedni do pomiaru małych elementów półprzewodnikowych, elektronicznych i mechanicznych.możliwości

Opis produktu

  • Wraz z rozwojem technologii samojezdnych czujników samochodowych wraz z rozwojem całego rynku pojazdów elektrycznych w przemyśle motoryzacyjnym, liczba wymaganych i zainstalowanych komponentów elektronicznych znacznie wzrasta. W przypadku tych krytycznych komponentów wymagana jest ścisła kontrola jakości, dlatego oczekiwania co do wyposażenia pomiarowego w hali produkcyjnej są coraz wyższe.
  • Firma Nikon oferuje serię „NEXIV VMZ-S” odpowiednią do pomiaru tych wymagających aplikacji.

Zalety i funkcje

Wysoka dokładność w całym polu widzenia (FOV)

Dokładność w FOV (PF2D, PFV2D) jest ściśle określona. Optyka zaprojektowana przez firmę Nikon zapewnia nie tylko wysokiej jakości obraz, ale także zapewnia wysoką dokładność.

Błąd pomiarowy * PF2D0,8 µm

  • Głowica powiększająca Type2. Błąd określony wewnętrzną metodą pomiaru firmy Nikon. Metoda polegająca na pomiarze obwodu okrągłej próbki wzorcowej. Obejmuje także ruch stołu, więc narzędzie pomiarowe wideo w polu widzenia jest równomiernie umieszczone w 25 punktach na obwodzie.
  • Błąd sondy sondy obrazującej * PFV2D 0,3 µm *
  • Głowica powiększająca Type2. Błąd określony wewnętrzną metodą pomiaru firmy Nikon. Metoda polegająca na pomiarze obwodu okrągłej próbki wzorcowej. Narzędzie pomiarowe wideo w polu widzenia jest równomiernie umieszczone w 25 punktach na obwodzie.
  • (bez ruchu stołu).

Poprawa przepustowości

Wydajność została głównie poprzez zwiększenie szybkości przesuwu stołu na krótkich odległościach.  Przyczynia się to do skrócenia czasu pomiaru.

Nowy styl

Wraz ze zmianą wyglądu zewnętrznego, joystick używany do sterowania stołem i głowicy optycznej został przeprojektowany, aby obsługa maszyny była łatwiejsza i mniej męcząca podczas długotrwałej pracy.

Wsparcie w programowaniu pomiarów

Oprogramowanie wymiarowe NEXIV AutoMeasure zapewnia wysoką precyzję / dużą szybkość / łatwy pomiar z wieloma cennymi funkcjami. Ważna nowa funkcja wspiera procesy tworzenia programu pomiarowego. Wybierając punkt pomiarowy, system obsługuje kilka ustawień, a kod programu pomiarowego jest tworzony automatycznie. * * Ta funkcja jest przeznaczona dla detali o prostej strukturze kształtu. Przewodnik po warunkach: z diaskopowym oświetleniem. Elementy z perforacjami lub pustkami z wyraźnie wykrytymi konturami krawędzi, bez znaczących odchyleń lub zanieczyszczeń materiałowych. (okrąg, prostokąt i łuk kołowy)

Cyfrowy przewodnik obsługi NEXIV Note

Ta funkcja umożliwia wyświetlanie slajdów i filmów wraz z zawartością NEXIV, taką jak podstawowe operacje i funkcje. Za pomocą tej aplikacji można łatwo tworzyć proste programy pomiarowe.

Głowice ze standardowym powiększeniem: typ 1 – 3

  • Typ 1, 2 i 3 mają optykę Nikon z 15-krotnym zoomem i dużą odległością roboczą, szerokim polem widzenia i wysoką aperturą NA 0,35. Wszystkie są wyposażone w diodowe oświetlacze episkopowe i diaskopowe, a także ośmiosegmentowy oświetlacz pierścieniowy LED z trzema kątami padania.

Głowice zmiennoogniskowe o dużym powiększeniu: typ 4, TZ

  • Modele typu 4 i TZ mają optykę Nikon z zoomem 15 × i 120 × z większym powiększeniem i najwyższym NA równym 0,46. Typ 4 jest dostarczany z oświetlaczami episkopowymi i diaskopowymi LED, a także ośmiosegmentowym oświetlaczem pierścieniowym LED z Kąt padania 50 stopni. TZ posiada diodowe oświetlacze episkopowe, diaskopowe (dla większego powiększenia) i ciemnego pola.

Głowica zmiennoogniskowa o szerokim polu widzenia: typ A

  • Typ A jest wyposażony w optykę Nikon z 10-krotnym zoomem i najszerszym polem widzenia, najdłuższą odległością roboczą i wyższej NA równej 0,11. Wyposażony jest w oświetlacz episkopowy i diaskopowy LED oraz ośmiosegmentowy oświetlacz pierścieniowy LED z Kąt padania 18 stopni

Wykrywanie przezroczystej warstwy 0,1 mm

Zaprojektowany do wykrywania powierzchni cienkich przezroczystych materiałów, nowy TTL Laser AF działa z taką samą dużą szybkością i wysoką dokładnością, jak laserowy AF z serii VMR.

8-segmentowe oświetlenie pierścieniowe z trzema kątami padania

Głowice ze standardowym powiększeniem (typ 1-3) są wyposażone w ośmiosegmentowe diody LED do oświetlania pierścienia wewnętrznego i zewnętrznego, a także oświetlacze episkopowe i diaskopowe. Kąty padania światła 37, 55 i 75 stopni, kierunki oświetlenia poprzez połączenie dowolnych ośmiosegmentowych świateł i regulację natężenia światła.

  •  Kąt padania ośmiosegmentowego oświetlacza pierścieniowego dla typu 4 wynosi 50 stopni, a dla typu A 18 stopni.

15-krotny szybki zoom

5-stopniowy, szybki zoom optyczny o współczynniku powiększenia 15: 1 umożliwia zarówno szerokie pole widzenia przy małym powiększeniu, jak i obserwację w najwyższej rozdzielczości przy maksymalnym powiększeniu (typ 1 – 4).

Specyfikacje

ModelVMZ-S3020
XYZ strokes300×200×200 mm *Type TZ with low magnification lens: 250×200×200 mm
Minimum readout0.01 μm
Maximum sample weight20 kg (Accuracy guaranteed: 5 kg)
Maximum permissible error
(L: Length in mm)
EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 µmEUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 µmEUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 µm
Probing error 1),2): MPE PF2D 0.8 µm Probing error of the imaging probe 1),2): MPE PFV2D 0.3 µm
CameraBlack and White / Color 1/3 CMOS Camera
Working DistanceType 1,2 and 3Type 4Type TZType A
 50 mm30 mm(High-mag.) 11 mm / (Low-mag.) 32 mm73.5 mm (63 mm with Laser AF)
XYZ strokes300×200×200 mm *Type TZ with low magnification lens: 250×200×200 mm
Laser AF repeatability range 1),3)2σ ≦ 0.5 µm
IlluminationType 1, 2, 3, and 4 : Episcopic, diascopic, and 8-segment ring with 3 angles *All white LED/Type 4 has only 1 angle Type TZ: Left objective lens: Episcopic, darkfield ; Right objective lens: Episcopic, diascopic, darkfield Type A: Episcopic, diascopic, and 8-segment ring with 1 angle *All white LED
Power source, Power consumptionAC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A − 2 A
Dimensions & weightMain body with table (W×D×H): 700×730×1793 mm / approx. 265 kg Controller: 190×450×450 mm / approx. 12 kg
Footprint (W×D)2700×2400 mm